Informações do produto

A placa DAIHEN FLB-60M-03 0190-19674 é uma placa de controle de microprocessador industrial de alta precisão integrada em redes legadas de gerenciamento de energia de plasma de radiofrequência (RF) de alta frequência de 60 MHz. Este hardware atua como o motor computacional para redes de adaptação automatizadas, que rastreiam ativamente variações complexas de impedância entre um gerador de RF industrial e uma câmara de processamento a vácuo. Executando continuamente algoritmos de malha fechada, a placa calcula coordenadas de compensação em tempo real, controlando ajustes de motores e sintonizadores de fase para maximizar a transmissão de potência direta, minimizar a potência refletida e manter a ignição estável do plasma durante a microfabricação.

Frequência operacional do sistema: 60 MHz

Entrada de alimentação para processamento lógico: Consome tensão padrão de +5 VCC (±5%).

Trilhos de tensão de acionamento analógico: Requerem entradas de alimentação secundária de +15 VCC e -15 VCC.

Resolução de captura analógica: Os canais de dados analógico-digitais integrados utilizam matrizes de conversão de 12 bits.

Temperatura ambiente de operação: 15°C a +40°C

Faixa de temperatura de armazenamento: -10°C a +60°C

Limite de umidade relativa: 20% a 80% UR (sem condensação)

EMERSON

ABB

SIEMENS

PR6426-010-000 CON021-916-160

SA801F 3BDH000011R1

6AV6542-0AG10-0AX0

1B30035H01

IMFEC11

6AV2124-0MC01-0AX0

A6210

NI0C01 3BSE005735R1

6ES5314-3UA11

SP1406

SAFT171PAC

6AV3627-1LK00-1AX0

8752-CA-NS-02

PFUK104-YM110002-SD

6DS1200-8BA

PR6423'01K-010 CON021

PFSK101 YM322001-ED

6ES7334-0CE01-0AA0

38B6041X082

HIEE400109R1 HI022755-310 CS A465 AE01

6ES7317-2EK14-0AB0

5X00109G02

NTCF02

6EP1931-2FC21

PR6423-013-010 CON021

PFUK108 YM110001-SH

6ES7332-8TF01-0AB0

HD11010-3A

PM860AK01 3BSE066495R1

6EP3437-8SB00-0AY0

KJ4005X1-BC1 12P4680X032

NDCU-21 63985317B

6ES7321-1BH02-0AA0

5X00790G01

C87-11006

6EP1334-3BA10